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製品概要
FEMAGは、バルク単結晶の製造プロセスをシミュレーションするソフトウェアです。近年、単結晶の需要は、Si、III−V族化合物の半導体結晶のみでなく、振動子用単結晶、電気光学用単結晶等エレクトロニクス、オプエレクトロニクス用のものへと広がってきています。単結晶の製造法についても、Czochralski(CZ)を中心に、LEC、Bridgman、Floating-Zoonなどがあり、より大口径のもの、高機能なものが製造できるよう製造技術に改良が加えられています。これらの技術開発にシミュレーションは、非常に有効な手法であり、FEMAGは結晶成長の過程を精密に計算できます。
FEMAGの対応製造法
Czochralski Groth FEMAG-CZ
Liquid Encapsulated Cz Groth FEMAG-LEC
Floating Zoon Groth FEMAG-FZ
Vertical Bridgman and VGF Growth FEMAG-VB
Oxide Groth
FEMAG-OX

Cz, LEC

FZ

Vertical Bridgman
機能
・すべての結晶成長過程を計算できます。(Metal Melting⇒Seeding⇒Tail ending)
・どのようなファーネス構造でもモデル化可能です
・成長過程を含め形状変化、温度分布、速度分布が求められます。
・層流、乱流、対流の計算が可能です
・電磁攪拌を考慮できます。(Vertical, Cusp, Rotating, Horizontal)
・輻射(Deffuse Radiation, Semi-transparent Metal)
・ガスの対流
・酸化物の偏析(Concentration)
・Point defects
 
グラフィカルユーザインターフェース

※画像をクリックすると拡大表示します。

計算例

詳細につきましては、開発元 ベルギー FEMAGSOFT社のウェブサイトをご覧ください。
http://www.femagsoft.com